特氣柜

氣瓶柜 Gas Cabinet
腐蝕性，毒性，可燃性，自然性氣體使用的氣體放置于管理設(shè)備。氣瓶柜標(biāo)準(zhǔn)配置減壓裝置，自動(dòng)切換，自動(dòng)吹掃，真空發(fā)生器，終端過(guò)濾器，緊急切斷，泄漏偵測(cè)，噴淋稀釋?zhuān)o急關(guān)斷，抽風(fēng)故障報(bào)警，伴熱，供應(yīng)壓力監(jiān)測(cè)等自動(dòng)安全裝置。


標(biāo)準(zhǔn)配置
單瓶柜（1 工藝鋼瓶）
雙瓶柜 （1 工藝鋼瓶 + 1 吹掃N2鋼瓶）
雙瓶柜 （2 工藝鋼瓶）
三瓶柜（2 工藝鋼瓶， 1 吹掃N2鋼瓶）

特殊配置
大流量BSGS供應(yīng)系統(tǒng) （NH3 2000L）
TMA 供應(yīng)系統(tǒng)
TEOS 供應(yīng)系統(tǒng)
DEZ供應(yīng)系統(tǒng)
TCS / DCS 供應(yīng)系統(tǒng)
高精度氣體混配系統(tǒng)