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氣瓶柜 Gas Cabinet
腐蝕性，毒性，可燃性，自然性氣體使用的氣體放置于管理設(shè)備。氣瓶柜標準配置減壓裝置，自動切換，自動吹掃，真空發(fā)生器，終端過濾器，緊急切斷，泄漏偵測，噴淋稀釋，緊急關(guān)斷，抽風故障報警，伴熱，供應壓力監(jiān)測等自動安全裝置。
標準配置
單瓶柜（1 工藝鋼瓶）
雙瓶柜 （1 工藝鋼瓶 + 1 吹掃N2鋼瓶）
雙瓶柜 （2 工藝鋼瓶）
三瓶柜（2 工藝鋼瓶， 1 吹掃N2鋼瓶）
特殊配置
大流量BSGS供應系統(tǒng) （NH3 2000L）
TMA 供應系統(tǒng)
TEOS 供應系統(tǒng)
DEZ供應系統(tǒng)
TCS / DCS 供應系統(tǒng)
高精度氣體混配系統(tǒng)
