特殊氣體硅烷系統(tǒng)設(shè)計(jì)內(nèi)部分配系統(tǒng)要求：
1、在某些情況下，由于地點(diǎn)或環(huán)境的考慮，或者硅烷混合物的其他成分是有毒的，外部分配系統(tǒng)不可能位于室外。除了本部分推薦的控制措施外，上述戶外分配系統(tǒng)的控制措施也適用于室內(nèi)分配系統(tǒng)。
2、使用的硅烷應(yīng)位于通風(fēng)的氣體或排氣室或隔離通風(fēng)的氣體儲存室。該區(qū)域不得有不兼容的材料(如氧化劑)。室內(nèi)分配系統(tǒng)應(yīng)位于防爆屏蔽室或隔離室，設(shè)計(jì)用于危險材料控制。防爆屏蔽室或隔離室應(yīng)至少有一個外墻，應(yīng)與建筑物的其他占用區(qū)隔離。對硅烷室內(nèi)儲存和控制的建筑要求，應(yīng)參照當(dāng)?shù)叵嚓P(guān)建筑法規(guī)。
3、所有無焊接裝置的通風(fēng)速度必須足以防止硅烷在泄漏條件下積聚。(對自燃?xì)怏w， NFPA 318 氣瓶頸部和控制器的速度要求為 200 fpm；最近通過了統(tǒng)一的消防法標(biāo)準(zhǔn) 80.106 所有無焊接裝置都需要機(jī)械通風(fēng)速度。 200 fpm）。氣室應(yīng)該設(shè)計(jì)得能防止氣圈形成。氣室通風(fēng)應(yīng)采用自動氣體報警系統(tǒng)進(jìn)行檢測，并在通風(fēng)故障的情況下停止設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)。
4、氫化物檢測器應(yīng)位于氣體室排放系統(tǒng)中，當(dāng)檢測到氫化物時，設(shè)備應(yīng)停止運(yùn)行。還需要紫外線/紅外線探測器來指示火災(zāi)，并在檢測火災(zāi)時停止設(shè)備運(yùn)行。溫度開關(guān)也可以用來檢測室內(nèi)的火災(zāi)。
5、凈化操作應(yīng)使用位于同一個氣體室或排氣室的特殊稀有氣體氣瓶。理想情況下，每個凈化氣瓶及其維護(hù)的氣瓶應(yīng)共享同一個氣體室。室內(nèi)N2系統(tǒng)不能作為凈化源。
