1、VCR連接
高純度氣體管道與閥門等配件的連接應(yīng)采用密封不易泄漏的專用接頭進(jìn)行連接，常用的連接方式有VCR兩種：(VacuumCouplingRetainer)和SWG(Swaglok)，VCR選用好的金屬墊，采用垂直壓力卡緊，所以泄漏率極低，大約10。～9Acc/s，并且抗壓能力高，常用于氣體雜質(zhì)含量1.0×10-9級(jí)高純氣輸送系統(tǒng)，而SWG不如VCR，抗壓能力低，基本上這兩種接頭方式的安全性足以替代焊接方式。
2、法蘭連接
在一些要求較低的氣體管道中，管道與設(shè)備、管道與閥門之間的連接可以采用法蘭連接，墊片可以采用軟金屬墊片或聚四氟乙烯墊片。由于石棉會(huì)產(chǎn)生灰塵，橡膠具有很強(qiáng)的透氣性和吸水性，容易老化，因此不需要整個(gè)石棉墊片或橡膠墊片。
表面密封連接件連接
法蘭連接時(shí)，氣體與密封材料的接觸面較大，表面損壞較大，因此高純氣體管道不采用法蘭連接。大部分采用表面密封件，大部分采用VCR密封件。VCR連接方式氣體不接觸密封材料，流通表面幾乎沒(méi)有磨損。這是一種垂直壓力，可以用優(yōu)質(zhì)的金屬墊密封，不泄漏，污染少，因此被廣泛使用。選擇時(shí)，連接件材料與主管材料一致，內(nèi)表面光潔度一致。
3、法蘭連接
法蘭連接對(duì)于大氣體和純度要求不高的氣體管道，采用鍍鋅鋼管時(shí)，采用法蘭連接。法蘭連接的密封材料應(yīng)采用聚四氟乙烯密封帶，不得采用傳統(tǒng)油麻。密封帶應(yīng)適當(dāng)纏繞。如果不能纏繞太厚或太長(zhǎng)，如果纏繞太厚或超過(guò)管道螺紋端口的坡口，當(dāng)螺紋擰緊時(shí)，密封帶會(huì)被絲綢咬掉，從人體管道中形成較大的污染物。因此，有必要在不纏繞密封帶的情況下留出2-3顆凸牙。
4、焊接
焊接連接管的焊接連接，可采用對(duì)焊、承插焊或套管式連接。
對(duì)焊
對(duì)需要高純度的管道，選擇內(nèi)壁無(wú)疤痕的焊接。高純氬氣保護(hù)焊接。
承插焊
對(duì)純度要求較低的管道可采用承插焊或套管焊，由于氣體殘留空間較大，可采用承插焊。
套管焊接
很難吹干，現(xiàn)在更多的是套管焊接。套管的焊接應(yīng)與套管和主管具有相同的材料和內(nèi)層水平，結(jié)合部分之間的間隙不宜過(guò)大，重疊部分不宜過(guò)多。更合適的重疊長(zhǎng)度在5毫米以內(nèi)。套管內(nèi)管加工時(shí)，應(yīng)由主管過(guò)盈，使主管被套管包裹后焊接，焊渣不會(huì)落入管內(nèi)。而且氣體死亡空間小，容易吹干。
