超高純硅烷SiH4將用于半導(dǎo)體和太陽能薄膜工藝。、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化鎢WF6、高純氨NH3等特殊氣體具有易燃、劇毒、強腐蝕等特性，但是是制造精密半導(dǎo)體電子元器件和新能源光電產(chǎn)品必不可少的重要原料。如果生產(chǎn)中有氣體泄漏，會造成非常嚴重的產(chǎn)品質(zhì)量和人身傷亡。為了保證安全，這種高純特殊氣體的輸送管采用不銹鋼雙層管。管道施工時，對工作環(huán)境的清潔度、管道內(nèi)外管道的清潔度、焊接和安裝質(zhì)量有很高的要求。本文對超高純特殊氣體雙層管道的施工提出了一些建議，供同行參考。
2.工藝原理
采用水平15°傾斜姿勢加工，順管內(nèi)介質(zhì)流向高純氮(99.9999%)進行吹掃。雙層管夾層填充不銹鋼彈簧后，彎管由專用彎管裝置加工。雙層管道內(nèi)外充純氬(99.9999%)保護的全自動軌道氬弧焊連接與柔性金屬墊片端面密封連接，結(jié)合氦氣泄漏檢測工藝原理，確保內(nèi)外管道的清潔度、密封性、彎管質(zhì)量和管道焊接安裝質(zhì)量。
三是加工安裝操作要點
清潔區(qū)域控制3.1
現(xiàn)場設(shè)置三個預(yù)制清潔區(qū)，建立臨時清潔室，要求清潔等級不低于9級，以保證管件加工的清潔度。進入清潔室的人必須穿清潔服、清潔帽、清潔鞋和手套。
